DIN EN 62047-12-2012 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC62047-12-2011).德文版本EN62047-12-2011

作者:标准资料网时间:2024-05-21 04:27:30 浏览:9963 来源:标准资料网

【英文标准名称】:Semiconductordevices-Micro-electromechanicaldevices-Part12:BendingfatiguetestingmethodofthinfilmmaterialsusingresonantvibrationofMEMSstructures(IEC62047-12:2011);GermanversionEN62047-12:2011
【原文标准名称】:半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法(IEC62047-12-2011).德文版本EN62047-12-2011
【标准号】:DINEN62047-12-2012
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2012-06
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DE-DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:抗弯强度;定义(术语);电气工程;疲劳;疲劳极限;材料;微电子学;微系统工艺;共振;试样;半导体器件;系统工程;试验;测试装置;试验体系;薄膜工艺
【英文主题词】:Bendingstrength;Definitions;Electricalengineering;Fatigue;Fatiguelimit;Materials;Microelectronics;Microsystemtechniques;Resonance;Samples;Semiconductordevices;Systemengineering;Testing;Testingdevices;Testingsystem;Thin-filmtechnology
【摘要】:
【中国标准分类号】:L40
【国际标准分类号】:31_080_01;31_220_01
【页数】:31P;A4
【正文语种】:德语

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